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晶圆搬运机械人破解半导体整厂主动化困半岛电竞难

更新时间:2024-06-18 17:31点击次数:
 跟着半导体主动化身手的迅疾进展,AMHS形式正正在始末一场改革,单依赖轨道铺设的OHT铺排进程难度大、造价高,目前只要12寸及以上的尖端晶圆创造厂才有时机引入;而兼具自决转移和操作机能的晶圆搬运呆板人拥有高柔性和超出力的特征,正成为各泰半导体工场物流主动化的新挑选。  行动国内晶圆搬运呆板人头部企业代表,优艾智合呆板人针对半导体出产打造了笼罩货仓到线边缓存、Inter Bay到Intra Ba

  跟着半导体主动化身手的迅疾进展,AMHS形式正正在始末一场改革,单依赖轨道铺设的OHT铺排进程难度大、造价高,目前只要12寸及以上的尖端晶圆创造厂才有时机引入;而兼具自决转移和操作机能的晶圆搬运呆板人拥有高柔性和超出力的特征,正成为各泰半导体工场物流主动化的新挑选。

  行动国内晶圆搬运呆板人头部企业代表,优艾智合呆板人针对半导体出产打造了笼罩货仓到线边缓存、Inter Bay到Intra Bay,以及Intra  Bay间主动化上下料等全场景的晶圆搬运呆板人物流主动化管理计划半岛电竞,任职了台积电、中芯国际等稠密环球着名半导体厂商。

  优艾智合自决研发的Fusion  SLAM算法,能够告竣晶圆搬运呆板人的跨场景或者正在庞杂处境下以亚毫米级的精度依旧安静转移,同时能正在正在不息机的环境下适配厂区扩容、配置更新、结构调治等现实蜕变。与此同时,YOUI  TMS软件体系能够及时与RTD、EAP、MCS的数据交互,遵照整厂的出产节律智能天生和拆合物流订单,让物料集约化地流转,确保物流归纳出力更优。

  正在机能方面半岛电竞,晶圆搬运呆板人不但要满意半导体车间洁白度等硬性目标的央求,还要适配更多品种的夹具,以满意全体半导体出产配置的上下料需求,且晶圆搬运呆板人的单体智能要足够强,担保出产良率、进步产能,让出产更柔性。

  正在体系协同方面,晶圆搬运呆板人行动首要运输配置,必要契合SEMI的订交准则央求,也必要与主流伶俐出产体系协同买通。这也对晶圆搬运呆板人软硬件体系的怒放性提出了更高央求。

  优艾智合历经两年打磨推出的OW系列,可满意CLASS-1无尘室级此表央求,寻常搬运时的振动值正在0.2G以内,优于国际SEMI准则划定的0.5G,正在Intra  Bay机器,OW系列支撑速捷换装针对FOUP \ SMIF Pod \ Open Cassette \ Shipping Box \  Magazine等多种治具的套件,除晶圆搬运表,也许满意绝大大批半导体周围的机台上下料需求半岛电竞。晶圆搬运呆板人做事于强辐射半岛电竞、高洁白等第、高颠簸等第央求的场景,具备高度的场景适配性。

  异日半岛电竞,优艾智合将永恒深耕半导体行业,生意笼罩第一、二、三代半导体创造的衬底、表延、FAB、掩模、封测等细分周围的全出产枢纽,帮力告竣Fully  Auto。晶圆搬运机械人破解半导体整厂主动化困半岛电竞难

(编辑:小编)

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